Materiaalitiede:mikrovalmistus
mikrovalmistus
| mikrovalmistus |
Määritelmä (fi)
menetelmien kokonaisuus, jolla valmistetaan mikro- ja nanoskaalan rakenteita eri materiaaleille
Selite (fi)
Tärkeimpiä tekniikoita ovat litografia, ohutkalvot ja syövytys. Mikrovalmistusta käytetään mikroelektroniikan, sensorien ja mikrofluidisten sirujen valmistuksessa.
Alaviitteet
Lähdeviittaus tähän sivuun:
Tieteen termipankki 3.3.2026: Materiaalitiede:mikrovalmistus. (Tarkka osoite: https://tieteentermipankki.fi/wiki/Materiaalitiede:mikrovalmistus.)